“各位你們現在有已經開始這個方向的研究嗎?
有的話,可以提出來,我們可以同研究。”
一位戴著眼鏡的年輕工程師舉了手“王總工,我是咱們所計算機研究所的研究員。
您說的計算機數控光學表麵形成技術,我在國外雜誌中有看到過,但隻是很淺顯的報道。
同時目前這方麵的技術已經倭國和泡菜國壟斷。
再加上我們國家數控方麵相關技術的落後,很難形成一個係統的研究。
不知道您在這個方麵有什麼比較好的技術,我對這個很感興趣。”
………
“我自然已經對計算機數控光學表麵形成技術有一定研究。
接下來我就為大家介紹一下相關技術:
第一個技術:小磨頭拋光技術。
這是使用一個比工件口徑小得多的磨頭對工件進行拋光。
通過控製磨頭在工件表麵不同位置的駐留時間以及磨頭與工件之間的壓強來控製材料去除量,能夠實現數十納米級的加工精度。
當然這是現在國際上的加工精度,我已經將其改進為01納米級的加工精度,可以適配到我們現在的項目上。
第二個技術:應力盤拋光。
很簡單的說就是拋光盤在計算機控製下可根據要加工的形狀實時變形,實現拋光盤與工件的完全貼合。
這個技術不存在什麼難度,隻是如何實現存在一定的技巧。
第三個技術:磁流變拋光。
就是使用具有磁流變效應的特殊拋光液作為拋光材料。
這種材料因為比較特殊,目前國內無法製作,不過我已經通過我的渠道解決了。
不過我還是簡要介紹一下這種材料:這種拋光液含有無磁性的拋光粉和磁性的鐵粉,在無磁場時表現為常規的液體狀態,而在磁場作用下鐵粉定向排列使拋光液表現出類固體性質。
磁流變拋光液吸附在帶磁場的拋光輪上,形成一層柔性拋光模,隨拋光輪的轉動與工件接觸,對工件表麵進行塑性剪切去除。
拋光模的剛度和韌性等參數可以通過磁場進行實時精確調控,與工件表麵始終緊密貼合,加工效率高、加工過程穩定、加工精度高、表麵質量好(不產生表麵和亞表麵損傷),可將麵型精度提高到納米級。
第四個技術:離子束拋光技術。
通過我的技術改造,可將鏡頭的精度從亞納米級提升到超納米級,這種程度完全可以碾壓現在國際的同類產品。
其實現的原理就是在真空條件下,利用電場將氬氣等惰性氣體電離為離子,轟擊工件表麵,將表麵原子去除。
這是一種原子量級的加工手段,可以達到原子級的精度和表麵粗糙度,加工的準確性和穩定性好,與工件之間沒有機械接觸、不產生表麵損傷,是目前最先進的光學元件加工技術。”
“各位剛剛我講的4點技術,都是以計算機數控光學為基礎研究形成的技術。
有什麼不清楚的可以繼續提出來,我們相互討論一下。”王昊哲笑著說道。
看到在場的所有研究員都在思考著,方中一所長笑著說道“看來各位對王總工的講解很有啟發,既然這樣各位就根據手頭的製造圖紙結合王總工的講解,自己消化一下,如果有什麼問題再請教王總工。”
聽到方中一所長這樣說,王昊哲也不準備再做停留“方所長,那我就走了,之後有什麼問題,我們再溝通。”
最後王昊哲直奔中科院校準技術研究所,剛要進入研究室的王昊哲就聽到裡麵發生了激烈的爭吵。
“王總工的製造圖紙怎麼會有問題,我看是你們自己沒有能理解清楚。
製造圖紙中明明白白的講清楚了光刻對準技術由最初的明場和暗場對準發展到後來的乾涉全息或外差乾涉全息對準、混合匹配、由粗略到精細對準技術等”
王昊哲在門外聽了一會兒,聽到有研究員能理解自己的製造圖紙,不住的點了點頭。
隨即王昊哲便推門走了進去,見到來人是王昊哲,研究室內的眾人也不爭吵了“剛剛在外麵我聽了一點你們之間的談話,大概明白了你們的想法。
剛剛那位幫我說話的研究員是誰?
對我的研究有一定的見解,很不錯。”
隻見一位模樣瘦小的小姑娘踮著腳尖舉著手“是我,王總工。通過我的理解您的製造圖紙是沒有問題的。”
“哈哈哈,真的感謝這位小姑娘的信任,不過各位能有不同的想法我也是很高興的,科學研究就是要這樣,通過不斷地討論我們才能取得進步。
我現在給你們講解下你們手中製造圖紙最重要地三個部分:
第一個部分是:雙光束ttl對準技術。
該技術主要通過在掩模一側通過精縮物鏡進行測量,該技術能允許連續的倍率控製,具有穩定性好、精度高、速度快等優點。
利用該技術再配上‘超紫外光’能發揮出更大的工作能效。
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