“太好了!”
周小樹一陣激動,隨後直接套上了無塵服,然後說道:“事不宜遲,咱們就儘快開始吧!”
王大海點點頭也跟著從一旁拿出了無塵服,然後進入到了實驗室內。
光刻膠的製作並不簡單,尤其是高品質的光刻膠,更是決定了芯片的良品率以及性能。
品質越好的光刻膠,分辨率就越高,而這也直接決定了芯片的集成度。
除了分辨率以外,還有一個重要的指標就是敏感度。
這決定了曝光光源能量的影響效率,也決定了生產效率和成本。
目前龍國還在研製二代光刻機的光刻膠技術,而自己現在要生產的則是四代光刻機所用到的更高品質的光刻膠。
經過一番噴淋衝洗,去靜電等環節之後,周小樹穿著無塵服進入到了純淨車間。
前段時間一些前期的準備工作和各種反應的材料都已經做好了,
剩下的工作就是高速離心機所用到的分離提純了。
他將所需要用到的材料送入高速離心機當中,然後按下了啟動按鈕。
隨後實驗室內傳來了一陣輕微的嗡鳴聲。
周小樹每隔一段時間從裡麵取出來一些材料進行檢測。
王大海站在一旁跟著仔細的學,拿著小本子像是小學生一樣認真的記錄著每一個步驟。
看著周小樹打著哈欠,王大海連忙說道:“要不這個環節交給我吧。”
周小樹點點頭沒有拒絕,然後又交代了一番之後這才離開實驗室。
幾天後。
實驗室深處的暗紅色防爆燈下,周小樹小心翼翼地打開一個特製的、避光的棕色玻璃瓶。
瓶內,是一種呈現出均勻琥珀色、質地略顯粘稠的液體。
看著瓶子裡的這些液體,周小樹的嘴角微微一揚。arf浸沒式光刻膠樣品,成了!”
聽到這話,旁邊的王大海激動的低聲歡呼了一聲。
“小樹,太牛了,沒想到你竟然做出來了,這就是你說的四代光刻機所需要用到的光刻膠嗎?”
“沒錯,不過現在有個問題就是,沒辦法評估性能!”
雖然周小樹明白,這一瓶光刻膠肯定是沒問題的。
畢竟自己掌握的係統,按照其中的技術搞出來的東西是不會出現一點偏差的。
但是關鍵問題是拿不出來實驗報告,那就沒辦法證明它的性能。
而光刻膠的性能測試絕非簡單的觀察和直覺判斷,它需要一套極其複雜而且昂貴的專業設備。
首先是需要在步進式光刻機用於曝光測試,然後用掃描電子顯微鏡用於高精度測量曝光後圖案的分辨率、線邊緣粗糙度和側壁形貌等性能。
這些設備,動輒數千萬甚至上億,而且大多被國外巨頭壟斷,對龍國嚴格禁運。
燕京半導體研究所內雖然也有一些設備,可那測試精度最高也就隻有200納米。
根本就測不出來這款光刻膠的極限性能。
周小樹沉思了片刻。
很快,他眼中閃過一絲決斷。
“如果我沒記錯的話,漢斯貓的希曼公司那邊好像有相關設備,大海哥,你能不能幫我搞到他們那邊的送檢名單?”
對方一愣:“這……這種東西他們好像不會對外公布吧?”
周小樹微微一笑:“我當然知道不會對外公布,所以……”
王大海瞪大眼睛,隨後咬牙點點頭:“好,我去弄!”
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