華清大學,精密儀器係大樓,一樓。
整個一樓,都被建設成為了精密光學儀器加工工廠,在內部被稱為9003實驗基地,而華清大學的光刻機,就是在這裡誕生的。
大年初三,已經到了上班的時間,大樓裡人來人往。
一名瘦弱的中年人,走進了9003實驗基地的辦公室,剛剛想要換衣服,通過強力風道進入,開始一天的工作,就被人叫住了。
“老徐!”
徐教授扭頭,看向叫自己的人,係主任沈釗,同時也是這個加工廠的廠長。
“老徐,走,先去會議室裡開個會。”
“好。”
會議室內的氣氛……有些不一樣啊,剛剛過年回來,大家夥難道不應該是喜笑顏開的嗎?怎麼個個愁眉苦臉的樣子?
“大家夥都到齊了,咱們開會。”沈主任開口:“昨天的時候,我去上麵相關部門拜年,電子工業係統的領導說,我們的光刻機項目的研發經費,可能會……”
徐教授的心瞬間咯噔一下:“會怎麼樣?”
“會大大的縮減,畢竟……我們國家要搞經濟建設,很多項目都要忍耐,我們的光刻機……到目前為止,就賣出去了兩台,根本就無法支撐起來龐大的研發經費,所以……”
徐教授騰的一下子站了起來:“沒錯,國家是要搞經濟建設,但是,我們光刻機,也是為了國家的經濟建設服務的,我們能製造出來一流的芯片,那就意味著能獲得大筆的利潤,甚至能出口創彙!”
“是啊,道理是這個道理,但是現在……”沈主任有些無奈地開口:“現在,我們研發的光刻機,根本就沒有單位采購,龐大的研發經費無法轉化為生產力,所以……”
“哼,國內的很多企業,都希望能從國外采購,明明國外的設備還不如我們的先進!”徐教授惱火地說道:“78年之後……”
這是個讓人憤怒的事情!
1960年,徐教授從華清大學畢業,之後就留校任教,再然後,在那個特殊的年代裡,被下放到了鄱陽湖,在那邊的農場裡種水稻。
1971年的某一天,他被農場負責人半夜敲門,還以為自己要完了,沒想到,是首都發來急電,讓他回首都,有重要任務。
徐教授扔下了稻秧,來到了首都,才知道國家要研製半導體生產的關鍵設備:光刻機。
當時的他,還隻是助教,就去參加這種重點項目,從此,就開始了造光刻機的曆史,他永遠都沒有忘記,當時接受任務時候的激動心情,我們祖國的半導體產業,就寄托在我們身上!
華清大學調動了五個係,數百人的研發團隊,開始了辛苦的攻關,從光刻機需要的氦氖氣體激光器的研製做起,到精密導軌、絲杠、滾珠、步進電機、控製計算機、光學係統、大孔徑的投影物鏡等,所有的設備,都是自己設計自己製造。
就這樣,東方第一台投影光刻機終於誕生!
光刻機剛剛誕生的時候,都是接觸式光刻機,掩膜直接覆蓋到矽片上,直至七十年代,美國PerkinElmer公司研製成功1:1投影式光刻機。
把光刻膠塗在矽片上,然後用光源照射,從而把該去掉的光刻膠通過光源給刻蝕掉。
最早用的是汞燈當光源,掃描台拖著矽片,和掩膜一起同步運動,光源通過狹縫變成均勻光,把圖案投影到光刻膠上。
僅僅這個裝置,就把芯片的良品率從百分之十提升到了百分之七十。
不過,由於要移動,所以個頭比較大,結構很複雜,於是,後來美國的GCA公司,又開始搞起來了分步重複精縮投影光刻機,掩膜和矽片不需要同步移動,同時物鏡還能縮小倍率,這樣掩膜版的製作難度大大降低。
這個東西誕生之後,光刻機的具體技術路線,就固定下來了,之後不斷提升光源,改進技術,但是基本結構是不變的,除非是後世那種3納米芯片需要的EUV光刻機,其餘的,都是這個結果。
徐教授他們開始研究之後,瞄準的就是投影式光刻機,前些年,這種光刻機已經研發成功,接下來,就應該再接再厲,研發分步投影的光刻機!
可惜,時代變了!
曾經重要的產品,已經能買到了!
這其中的轉折,就是1978年,當時巴黎工業展覽會,東方把光刻機送過去了,一番展覽之後,西方知道東方能搞這種光刻機了,所以,不用搞什麼禁售了。
己方的光刻機在巴黎工業展覽會上展示了東方的技術水平,回來後,一個個說要買光刻機的單位,都不要了!
隻有109廠采購了一台試用之外,就是9003基地裡的那台了。
現在,他們還想要繼續研製分步投影光刻機,上麵已經猶豫了,不想給提供資金了!
早知道,78年的時候就不去參加展覽了!但是……那是上級的命令,己方隻能遵守,甚至,當時出國的人,沒一個是光刻機的研發人員,在會議現場被問了個灰頭土臉,甚至被質疑的假的,要求東方人把這光刻機帶走。
眼看要丟人,才趕緊發電報,讓徐教授匆匆過去,一番介紹,知無不言,才讓外國人相信東方有這個技術!
想起那段曆史來,徐教授就是一陣陣的憤怒。
現在,那些人居然還想要卡著他們的預算!
賣不出去,不是我們的原因!明明那些能從國外買回來的光刻機性能還比不上我們的,國內的很多電子廠,還是要去買外國的,他們不過就是想要找機會,出國去看看……
想到這裡,徐教授握緊了拳頭。
“老徐,你坐下,咱們今天開會,就是商量的,上麵不支持,咱們華清大學也會自籌資金搞研發,隻是畢竟資金不足,可能會慢一些。”
“按照咱們的計劃,資金充足,再有一年就出來了,這樣咱們和國外的光刻機差距,就能縮小到零!現在要是沒了研發資金,可能會拖個三五年的時間……沈主任,咱們好容易追趕上來,不能再拖延啊!”
芯片行業,摩爾定律就是個魔咒!逼迫著研發人員們日夜不停,不斷地研製先進技術。
一步落後,步步落後,現在如日中天的美國的光刻機公司,就是因為打不過島國的光刻機產業,慢慢地衰落下去,而島國的光刻機產業,又是被阿斯麥給終結的。
在後世,所有人都知道東方芯片產業落後,但是他們並不知道,其實在七八十年代,東方的芯片產業並沒有落後太多,如果加大投資力度,像島國、南棒子那樣,把芯片產業當做主要產業來抓的話,絕對能發展起來的!
畢竟,咱們東方人是全世界最聰明的民族!
可惜啊!
帶著這樣的想法,走到了會議室門口的秦亮,深深地呼吸了一口氣,然後推開了門。
“各位,有咱們西工大,咱們的芯片產業不會落後的!”
眾人都是一愣,這誰啊,不認識啊!
不過,這青年身後的人,大家夥是認識的。
“林老,您怎麼……”
“嗯,路過,就進來看看,聽你們說,咱們這華清大學自研的光刻機,被一群有眼無珠的家夥給無視了,咱們是不會坐視不理的,亮子,把你的想法說說吧。”