楚千瀾指尖在桌麵輕叩，眼中閃過一絲亮色。
這種光刻技術，科技圖書館裡也是有的，但想要實現，其中涉及到的技術比正常光刻機還要多一些。
對於深藍半導體來說，研發光刻機亦或者放大光刻空間，這兩種方案各有利弊。
光刻機已經是成熟的技術方案，深藍半導體隻要想辦法規避其中的專利，就可以造出符合使用要求的光刻機。
放大光刻空間雖然能夠規避大量的核心專利，但這屬於全新的研發，所有難題都要深藍半導體的技術團隊自己解決。
然而，想到女媧係統的存在，楚千瀾心中也有了決定。
“放大空間規避非核心專利？這個思路倒是新穎。但光刻機的核心訴求是精度與穩定性，放大體積後，光學係統的校準、工作台的振動控製肯定會出現一係列新問題？”
張北光上前一步，打開平板，上麵呈現出一個三維模型圖：“楚總放心，我們做過仿真測試。將機身橫向放大200，非核心部件的加工精度要求可從±0.005微米放寬至±0.01微米，可以避開87項國外非核心專利；
光學係統方麵，我們采用‘分段校準’方案，通過額外增加的激光定位模塊，補償體積放大帶來的光路偏差，精度能穩定在原有水準；
工作台振動問題，恒川機械已定製出加強型阻尼基座，能將高速運轉時的震顫幅度控製在0.002微米以內，完全滿足45納米光刻要求。”
王世傑在一旁補充道：“更關鍵的是成本優勢！放寬精度要求後，國內廠商能生產的零部件比例從35提升至92，單台光刻機的製造成本可降低40。
而且核心部件的專利繞開方案也有了進展，張北光團隊已找到12項替代技術路徑，正在進行原型測試。”
楚千瀾俯身盯著模型圖上的標注，指尖劃過放大後的機身結構：“這個方案可行，但要把握兩個關鍵。
第一，核心部件的專利繞開必須徹底，不能給國外廠商留下訴訟漏洞；第二，體積放大不能影響量產效率，深藍半導體未來的產能需求隻會越來越大。”
張北光立刻應聲：“楚總放心，核心專利繞開我們采用‘反向設計+功能等效’雙路徑驗證。
比如光刻膠塗布模塊，我們放棄國外主流的‘旋轉噴塗’專利，改用‘狹縫擠壓塗布’技術，實測塗布均勻度誤差僅0.003微米，完全達到要求；
量產效率方麵，我們優化了晶圓傳送臂的運動軌跡，雖然機身放大，但單批次晶圓處理時間僅增加0.8秒。
通過增加並行處理單元，整條產線的年產能可以穩定在33萬片以上，足以支撐繁星科技和下遊合作廠商的需求。
當然，這些數據都是通過女媧係統測算，與現實肯定有所差距！”
王世傑補充道：“我們還做過測算，放大版65納米光刻機的研發周期預計12個月，隻比複刻原版增加了3個月；
量產成本降低40，這意味著後續擴產時，我們能以更低的投入快速搭建新產線，應對芯片需求的爆發式增長。”
楚千瀾指尖輕叩桌麵，眸色漸沉：“12個月的研發周期，時間可以接受。這套設備，你們研發的是65納米的，還是45納米的？”
聽到詢問，張北光眼中閃過一絲興奮，“楚總，我們準備直接研發45納米製程的光刻設備！
雖然沒有拆解過45納米光刻機，但我們在國外工作時，見過那些設備，對結構很熟悉。
再加上拆解65納米光刻機的經驗，研發一套擴展空間後的光刻設備，我們團隊還是很有信心的。
隻是，其中的光源設備還需要采購，這裡麵的專利技術太多，我們短時間無法突破限製！”
楚千瀾略作沉吟，語氣堅定的開口，“你們先研發光刻機主體，至於光源部分，我再想想辦法。
前段時間，我看到一篇關於“激光誘導放電等離子體”的文章，感覺可以將其用來製作光刻機的光源，我最近會使用女媧係統推演一番，若是可以，你們按照我給的技術大綱研發就行了！”
此時，他已經準備從科技圖書館中拿技術了，至於使用女媧係統推演，也隻是借口而已。
王世傑和張北光對視一眼，都從對方眼中看到了難以置信的驚喜。
他們雖然也能使用女媧係統，但受權限所限，根本無法做到大規模搜索資料並進行推演。
這種事情，也隻有擁有女媧係統最高權限的楚千瀾，才可以調用所有資源推進下去。
“楚總，您是說……您要親自解決光源問題？”王世傑的聲音都有些發顫。
光刻機的光源，是整個設備的“心臟”，技術壁壘極高，長期被少數幾家國外公司壟斷。
他們原本以為，就算主體設備研發成功，光源也將成為卡脖子的關鍵，至少需要走特殊渠道，花重金從國外采購，而且還可能麵臨鷹醬以及國外芯片巨頭的阻撓。
楚千瀾淡淡點頭：“嗯，那個理論還算完善，值得一試。你們先集中精力攻克主體部分，我收集一下資料就進行推演。若是行不通，就準備從國外進口！”
他語氣平靜，卻帶著一種不容置疑的自信，讓兩人瞬間安心下來。
“請楚總放心！”張北光激動地挺直了腰板，仿佛渾身都充滿了力量，“我們保證，12個月內，一定拿出能穩定量產的45納米光刻設備。”
兩人離開後，楚千瀾獨自留在辦公室，他調出了“女媧係統”，開始搜集“激光誘導放電等離子體”的相關資料。
即便有整套的技術，他也要根據現有的理論資料，確定拿出的資料不會超綱太多。
就在楚千瀾研究光源係統該如何繞過國外專利屏障的時候，國外與芯片相關的巨頭企業代表已經齊聚一堂。
他們此時已經獲得星途eda工具與星象指令集的試用版本，正在研討應阻擊星源探索發展的方案。
喜歡憑借外星科技，建立星海王朝請大家收藏：()憑借外星科技，建立星海王朝書更新速度全網最快。