楚千瀾看著曲峰發來的信息，眉頭微挑。
前幾天說好的15天後再來，沒想到才過去一周，沈院士就主動來了。
略作沉思，他快速回複曲峰：“你直接安排視察流程吧！讓王世傑提前準備設備調試演示，重點展示光刻機的基礎校準流程。光刻機是采購來的，沒有什麼秘密可言，隻要不暴露女媧係統就可以。”
雖然不知道沈院士有什麼意圖，但深藍半導體現在並沒有什麼秘密。
即便那些設備都算得上高精端，但對於沈院士來說也就那樣。以他的地位，更先進的設備，應該都看到過。
大四學生開學，隻是象征性的的開了一個班會。
這一學期，雖然還有幾門課程，但都並不重要，若是有實習單位，可以請假不上課，到期末回來考試便可以了。
在班會上，導員反複強調的是實習與畢業論文，這才是大四下學期的重要內容。
班會結束後，時間還早，楚千瀾徑直驅車前往深藍半導體。
剛駛入廠區，就看到王世傑帶著幾名工程師在門口等候，神色間帶著幾分緊張。
“楚總，沈院士已經到了，正在會議室等著。”王世傑迎上來，遞過一份準備好的演示流程，“我們按您的要求，隻準備了光刻機基礎校準的演示，剩餘時間就是現場觀看設備。”
楚千瀾接過流程掃了一眼，點頭道：“不用太緊張，沈院士是來交流學習的，不是來查技術機密的。你讓工程師正常安裝調試就行，不用刻意回避基礎參數。”
走進會議室，沈國梁正帶領一群研究所翻看深藍半導體的廠區規劃圖，看到楚千瀾進來，當即起身笑道：“楚總，冒昧來訪，沒打擾你們吧？”
“沈院士客氣了，您能來指導，我們求之不得。”楚千瀾側身引路，“光刻機剛完成初步安裝，正處於校準階段，附屬設施進度還要更慢一些，您要不要現在去看看？”
深紫外光刻機的實際操作了。”
一行人穿過潔淨區走廊，藍色的防護服將所有人裹得嚴嚴實實，隻有眼睛露在外麵。
光刻區內，幾名工程師正圍著光刻機調試參數，屏幕上跳動的數據流在昏暗的環境中格外醒目。
而在光刻機的周邊，還有很多設備正在定位安裝。
沈院士忽然說道，“楚總，你們這台光刻機很新啊，一點也不像二手的。”
楚千瀾順著沈國梁的目光看向光刻機主體，機身外殼的金屬光澤均勻，沒有明顯的使用劃痕，連接口處的防塵塞都還保持著完整。
“確實運氣好，這台設備是何蘭廠商閒置的備用機，05年生產，到現在實際開機時長不到1000小時，保養得比較到位。”
沈國梁俯身觀察光刻機的光學鏡頭保護罩，“如此品質的設備，鷹醬應該禁止對龍國出售運輸。能將其買回來，貴公司應該費了不少精力吧！”
楚千瀾聞言，深有同感，“這套設備，我們花費3000萬歐元，而前前後期的各種準備，我們就耗費了5000萬龍國幣！好在設備已經到手，不算浪費精力！”
他並沒有說明，這價格還包含14台離子注入機。
沈國梁直起身，目光帶著一絲感慨：“3000萬歐元加5000萬龍國幣，這價格放在海外確實很高，但能運回國內，但放在國內，也算是物有所值。深紫外光刻機，你們的水準已經超過九成同類企業。”
他忽然指向光刻機旁的校準儀器，“這台激光乾涉儀是蔡司的最新款吧？用來校準工作台的定位精度，誤差能控製在多少？”
王世傑上前一步，語氣帶著幾分自豪：“目前初步校準後，定位誤差穩定在±0.02微米，後續經過精細調試，能壓縮到±0.015微米以內，完全滿足180n製程的要求。”
沈國梁眼中閃過一絲讚許，伸手在儀器顯示屏上輕點：“你們的校準流程很規範，連環境溫濕度的補償參數都考慮到了。
不過要注意，光刻機運行時會產生局部熱量，可能影響工作台的穩定性，建議在周邊加裝恒溫風道。”
楚千瀾點頭記下：“多謝沈院士提醒，我們後續會優化環境控製係統。”
一行人沿著光刻區緩緩前行，沈國梁時不時駐足詢問設備參數，從光源功率到曝光時間，從晶圓台轉速到光刻膠塗覆厚度，每個問題都極為細致。
走到離子注入機安裝區域時，沈國梁看著正在拆解的設備零件，忽然問道：“這些零件是在做故障維修？我剛才好像看到有工程師在記錄參數，是準備逆向研究？”
楚千瀾坦然回應：“我們有兩台離子注入機出現真空閥門故障，我們一邊維修一邊記錄零件參數，後續計劃基於這些數據，嘗試將零件本土化，甚至逆向研發出設備。”
沈國梁拿起一個拆解下來的密封圈，對著燈光觀察材質紋路：“這種氟橡膠密封圈的耐腐蝕性和密封性很關鍵，國內能生產同級彆產品的廠家不多，你們若是有需要，我可以推薦幾家研究所對接。”
楚千瀾心中一喜：“那太好了！正愁找不到靠譜的國產供應商，有您的推薦，能少走不少彎路。”
沈國梁笑著擺手：“都是為了半導體國產化，互相幫襯是應該的。對了，你們基於星象指令集的芯片研發，什麼時候能進入流片階段？”
提到星象指令集，楚千瀾語氣多了幾分謹慎：“eda工具的核心模塊還在研發，預計今年年中能完成全套工具鏈開發，同步研發的嵌入式芯片應該會晚一點時間！”純國產芯片，還真是讓人期待啊！”
楚千瀾輕笑一聲，“我也很想知道，利用星象指令集設計出的芯片，功耗與性能如何。”
沈國梁略作沉吟，“你們可以先設計幾款市麵已有的通用芯片，我想辦法給你拉些客戶！”
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