輝騰車駛入深藍半導體廠區時，機械轟鳴聲比上次來時更顯密集。
隻不過，發出聲音的位置卻是在另一棟生產樓。
在王世傑的安排下，施工隊已經在對另一棟生產樓進行改造。若是以後購買新的光刻機，就可以直接進行安裝調試了。
而已經安裝完光刻機的那棟樓，內部幾乎沒有聲音發出。
楚千瀾剛走進生產樓，就看到王世傑穿著藍色防護服，從光刻區潔淨室快步走出，臉上帶著掩不住的興奮。製程的芯片產線全部安裝完畢，昨天已經完成單機調試，各項參數基本達到預期標準！”王世傑迎上來，遞過一份打印好的調試報告。
楚千瀾接過調試報告，目光快速掃過關鍵數據欄：“光刻膠塗覆均勻度98.5，曝光精度誤差±0.018微米，蝕刻速率穩定性97……參數比預期還要好。”
他抬頭看向王世傑，語氣帶著幾分讚許：“你們調試時遇到的最大問題是什麼？後續量產前還需要解決哪些隱患？”
王世傑揉了揉眉心，語氣帶著一絲慶幸：“最棘手的是離子注入機的束流穩定性，剛開始誤差超過3，張北光團隊連夜優化了磁場校準參數，才將誤差控製在1.2以內。
至於隱患，主要集中在潔淨室的溫濕度波動上。光刻區白天與夜間的溫差會導致工作台輕微形變，雖然現在誤差在允許範圍，但長期量產可能影響良率，我們計劃加裝恒溫恒濕精密控製係統。”
楚千瀾跟著王世傑走進潔淨室走廊，透過觀察窗，能看到幾名工程師正圍著光刻機調試軟件參數，屏幕上跳動的數據流在昏暗環境中格外醒目。
兩人沿著潔淨室走廊繼續前行，來到蝕刻區時，幾台等離子蝕刻機正處於待機狀態，機身側麵的顯示屏上跳動著實時壓力和氣體流量數據。
“蝕刻環節的參數調試還算順利，”王世傑指著設備，“我們用測試矽片做了十組實驗，線寬均勻度能穩定在±0.02微米，符合180n製程要求。”
楚千瀾停下腳步，掃視了一下設備，並沒有做出評價。
直到二人看完所有生產設備，他才開口問道，“這條產線什麼時候聯機調試？大約什麼時間能交付使用？”
王世傑眼中閃過一絲期待：“聯機調試計劃下周一啟動，我們準備先用測試矽片跑三批完整流程，重點驗證各設備間的數據交互和工藝兼容性。
按目前進度，若聯機調試順利，本月下旬就能完成產線驗收，月底前可以開始試生產。”
楚千瀾目光落回光刻機方向：“雖然我們希望儘快完成調試，但也要保證設備的穩定性！
試生產階段，先聚焦電源管理芯片，這是我們自己研發的產品，更能快速驗證產線穩定性。另外，以後正式生產後，也會生產這種芯片。”
作為楚千瀾旗下，唯一可以正大光明生產的芯片，他自然要將訂單放到自家公司。
王世傑重重點頭：“明白！電源管理芯片的工藝參數，我們已經和星源探索的陳文州團隊對接，試生產時會優先安排。
而且張北光團隊還整理了設備維護手冊，後續量產時，每個環節都會有專人負責巡檢，確保良品率穩定。”
兩人走出潔淨室，脫下防護服時，王世傑忽然想起什麼，補充道：“楚總，沈院士上周還聯係過我，問我們產線調試進度，說若是需要技術支持，他可以協調中科院的專家過來指導。”
楚千瀾輕歎一聲：“沈院士的好意心領了，現階段我們先自己磨合，真遇到解決不了的技術瓶頸再麻煩他。”
兩人又在廠區轉了一圈，重點查看了新改造生產樓的施工進度。
鋼筋骨架已經搭建到第三層，幾名工人正站在腳手架上焊接，火花在陽光下濺起細密的光點。
王世傑手拿圖紙，開口介紹，“這棟樓按cass1潔淨室標準建造，專門預留了45n光刻機的安裝空間。
預計10月底完成主體施改造，隻要購買到設備，就能投入使用，到時候我們就能同時運行兩條芯片產線。”
楚千瀾卻搖了搖頭，“以我們現在的狀態，並不需要那麼大的產能。還是再買一台光刻機，用來拆解研究吧！”
他建立深藍半導體，是為了不被國外卡脖子。至於接芯片訂單賺錢，並不在他的計劃之中。
而且，有女媧係統的存在，隻要拆解了光刻機，就可以得到各種零配件的具體參數。
其中的一些工藝可能無法直接複刻，但想要仿製光刻機，難度將大幅度降低。
王世傑聞言，頓時明白楚千瀾的意圖，“這樣也好，說不定我們以後，就能用上自己生產的先進光刻機了！”
楚千瀾目光掃過正在被改造的生產樓，語氣帶著幾分篤定：“自主研發光刻機是長遠目標，其他設備也不能放過！等生產線那邊完成調試，你就抽調人員，為此做好準備吧！”
王世傑點頭：“嗯，我會安排此事。不過……再買一台二手先進光刻機，預算恐怕不夠，深藍半導體的10億貸款，現在隻剩下不到兩億。再扣除第二座生產樓的改造費用，就隻剩下1個多億了！”
“預算不是問題，我會想辦法！”楚千瀾語氣平靜。
在他看來，此次購買管科技，並不需要多麼新進，甚至是損壞的也可以，反正最終都無法逃脫被拆解的命運。
王世傑聞言，眼中的顧慮消散不少，連忙應道：“有楚總這句話，我就放心了。待到生產線完成調試，我就篩選合適的二手設備信息。”
楚千瀾微微頷首，“先買一些便宜的二手光刻機練手，總結一些經驗與技術。隻有把技術吃透，才能考慮改進工藝，生產出我們自己的光刻機！”
……
叮囑完深藍半導體後續工作後，楚千瀾駕車往回趕。這一次，他準備去前往星源探索，看一看eda工具與芯片研發進度如何了！
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