轉眼便是三月五日,春節假期早已過去,楚千瀾上班也已經一個多星期。
就在五天前,65納米光刻機完成了調試。
早在年前,負責研發存儲芯片的趙立偉團隊根據之前的研發成果,簡化出一款65納米製程的存儲芯片。
這也是為了實驗65納米光刻機調試結果,專門研發的芯片。
不過,因為各種原因,這款芯片的流片直到第三次才成功。
聽到這消息,楚千瀾也很高興。這意味著,65納米光刻機調試成功。
而接下來,深藍半導體的設備工程師又忙碌起來,他們開始嘗試使用“多重曝光技術”,生產45納米製程的存儲芯片。
65納米光刻機生產65納米芯片,這本就是正常的事情。而生產出45納米的芯片,才是楚千瀾真正的目標。
三月五日的中午,深藍半導體的廠區被籠罩在春雨當中,二號車間內卻已是一片忙碌景象。
“多重曝光技術”的試驗正在緊鑼密鼓地進行中。工程師們圍在65納米光刻機旁,神情專注而緊張。
"第一道曝光工序完成,準備第二道。"設備工程師的聲音透過對講機傳來。
"確認對位精度,誤差控製在0.02微米以內。"張北光的聲音沉穩而堅定。
楚千瀾站在觀察窗前,目光緊緊盯著屏幕上的對位標記。這是他真正關心的時刻,用65納米設備挑戰45納米製程。
經過數小時的精細操作,第一片矽晶圓完成所有生產工序。
"送檢測室。"張北光下令。
等待檢測結果的時間總是漫長的。楚千瀾在走廊上來回踱步,思緒萬千。
"如果這次成功,我們將擁有自主生產45納米芯片的能力。"王世傑站在一旁,語氣中帶著期待。
楚千瀾點點頭:"這不僅是技術上的突破,更是對我們自主創新能力的證明。"
就在這時,檢測室的門開了。
"結果出來了!"檢測工程師興奮地喊道,"良率達到了72!"
車間內瞬間爆發出歡呼聲。楚千瀾的臉上也露出了久違的笑容。
"好!"他重重拍了一下桌子,"接下來,要多嘗試多重曝光,熟練掌握這門技術。”
說話間,楚千瀾轉頭看向陳文州,“陳工,你們芯片設計部門若有完成設計的芯片,都可以拿過來嘗試生產。
多重曝光技術的45納米製程掩模版,也需要熟練製作。生產出來的芯片,你們也可以拿回去測試一下效果,為以後的升級積累經驗。”
陳文州聞言,眼中瞬間亮起光芒,快步上前遞過一份芯片設計清單:“楚總,星源探索已經完成3款45n芯片的架構設計,分彆是低功耗嵌入式芯片、電源管理芯片以及基帶芯片。
我稍後就聯係相關團隊,讓他們做好流片的準備!”
楚千瀾接過清單,目光掃過芯片參數。嵌入式芯片與電源管理芯片不用說,有180納米的設計經驗,再加上功能相對簡單,將其升級並不困難。
反倒是45納米基帶芯片,能這麼快完成研發,著實讓他感到意外。
“這基帶芯片,是所有模式都完成研發了嘛?”
陳文州連忙解釋:“楚總,雖然各種模式都完成了研發,但相互之間相對獨立。我們下一步,準備將2g基帶芯片分彆與3種模式的3g基帶芯片進行組合。
完成目標後,我們還會將這四種基帶芯片全部組合到一起,使其成為一枚芯片。到那時,我們的手機將不再區分各個運營商。”
楚千瀾聞言,微微頷首:“先從2g+單模3g的組合入手,這部分要在12月前完成設計,給生產留下一部分時間。”
隨後,他轉頭看向王世傑,“要儘快熟悉多重曝光技術下的掩模版製作與生產流程。
進入四月後,就要停止設備運轉,展開65納米光刻機的複刻行動,爭取在半年內完成數據積累,10月份重新完成安裝調試!”
王世傑握文件的手指微微收緊,眼中閃過一絲了然:“楚總放心,多重曝光技術的掩模版製作工藝,我們已經組織工程師專項攻關,目前良率穩定在85以上,完全能滿足45n芯片的試產需求。光刻機的複刻,張北光團隊早已製定詳細拆解方案,等熟悉完多重曝光技術下的45納米芯片製作,就可以正式開啟。”
楚千瀾點了點頭,繼續問道,“去年複刻的250納米光刻機,現在是什麼情況?”
王世傑聽到“250納米光刻機”的問題,眼中閃過一絲興奮,連忙翻開隨身攜帶的筆記本:“張北光團隊拆解了原機1326個核心部件,繪製出完整的三維模型圖,關鍵參數誤差均控製在±0.5微米以內。”
他頓了頓,語氣帶著幾分自豪:“現在大部分核心部件已經完成製作,安裝到位,隻差幾個關鍵部件就能徹底完工。”
“沒有完成複刻?”楚千瀾眸光閃過詫異,“關鍵部件沒有到位,缺的是技術,還是材料?”
王世傑連忙解釋:“主要是精密導軌和伺服電機這兩個關鍵部件。
我們嘗試了三家國內廠商,生產的導軌定位精度始終差0.003微米,達不到原機±0.005微米的標準;
伺服電機的扭矩波動也超出設計閾值,高速運轉時會導致工作台輕微震顫,影響光刻精度。”
他頓了頓,補充道:“張北光團隊已經聯係了恒川機械,他們正在優化導軌的研磨工藝,預計下個月能拿出達標樣品;
伺服電機則找了一家軍工配套企業,對方有高精度電機生產經驗,隻是需要重新開模,周期大概要兩個月。”
楚千瀾指尖輕叩觀察窗邊緣,目光掃過車間內忙碌的工程師:“兩個月時間能等,但要同步推進,讓張北光團隊隨時跟進,確保部件生產過程中的參數偏差能及時調整,彆等最後組裝才發現問題。
拆解複刻65納米光刻機的過程,會遇到更多麻煩的問題,有什麼解決不了的,隨時聯係我!”
就在此時,王世傑接到一個電話,臉色微變,“楚總,沈院士來電,想要過來參觀65納米光刻機?”
楚千瀾聞言,眼中閃過一絲難看,“他知道我們生產出45納米芯片了?”
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