王世傑側身讓開，露出設備旁的參數麵板，上麵跳動的“套刻精度±0.003微米”“良率72”等數據格外醒目。
“我們通過自研的激光校準算法，將套刻精度壓到±0.003微米，比行業標準提高近一半；
光刻膠是直接從國外進口的，我們自己的實驗室剛起步，需要一段時間才能拿出成品；良率目前穩定在72，後續優化後還能再提5到8個百分點。”
沈院士俯身盯著麵板上的數據流，手指無意識地跟著數據跳動的節奏輕叩桌麵。
當看到“晶圓傳送臂定位誤差小於0.002微米”的標注時，他猛地抬頭，眼中滿是震撼：“你們連機械臂的動態補償都搞定了？這可是多重曝光的核心難點，國外廠商花了三年才突破這個瓶頸！”
“是楚總提供的技術框架，恒川機械來人調試的。”王世傑語氣帶著幾分自豪，“現在傳送臂每完成一次曝光定位，係統都會自動校準機械誤差，比人工調試精準多了。”
沈院士順著王世傑的指引看向設備後方，那裡堆放著幾疊厚厚的測試報告，封麵上“45n存儲芯片電學性能測試”的標題格外刺眼。
他隨手抽出一份，快速翻到核心參數頁。“數據存取速度120bs”、“靜態功耗5微安”、“循環壽命10萬次”，每一項指標都追上了國際主流45n存儲芯片水準。
“這……這簡直是跨越式突破！”沈院士合上報告，聲音因激動而微微發顫，“有了這套技術，咱們國內的45n芯片生產就不用再看as的臉色了！
對了，你們後續打算怎麼推進？是先擴產還是繼續優化工藝？”
王世傑輕輕搖頭，“以我們目前的狀況，很難在海外買到第二台65納米光刻機，擴展是不可能了。
至於優化工藝，意義也不大，65納米光刻機生產45納米芯片已經是極限，不可能再生產更先進的製程了。
按照楚總的規劃，我們下個月會拆解這台65納米光刻機，研究其內部結構！”
”拆解？”沈院士握著報告的手猛地一緊，紙張邊緣被捏出明顯褶皺。“這台設備剛完成調試，正是驗證工藝、積累數據的關鍵時期，現在拆解是不是太冒險了？”光刻機是國內稀缺的先進設備，哪怕暫時無法擴產，也該優先用於芯片生產，為國內產業鏈提供45n製程支持，而非急於拆解研究。
畢竟拆解過程中一旦出現硬件損傷，想要在國內修複難如登天。
真到那個時候，彆說45納米芯片了，恐怕連65納米芯片都無法生產。
王世傑卻是不以為意，“王院士，以我們公司目前的狀況，即便能生產45納米芯片，也不會有多少訂單。
即便有訂單，我們也無法采購那麼多生產原材料。也正因如此，楚總才讓我們在驗證完技術後，開始拆解65納米光刻機，了解內部結構，為零部件國產化做準備！”
深藍半導體即便獲得生產45納米製程芯片的能力，那些芯片設計公司也不會輕易拋棄合作夥伴，將訂單給他們。
更何況，深藍半導體與因特爾，台機電等公司有矛盾，僅憑這一點，就足以讓芯片設計公司拒絕與深藍半導體的合作。
當然，真正讓王世傑對拆解65納米光刻機一點反對意見都沒有的原因，是女媧係統在這個過程中起到的關鍵因素。
女媧係統在各種掃描設備的配合下，光刻機拆解過程幾乎不會有任何意外。這一點，已經在拆解250納米光刻機時驗證過。
沈院士歎了一口氣，王世傑的話如同一盆冷水，澆滅了他對“短期產能突破”的期待。
前段時間，深藍半導體被國內外供應商卡原材料的事情，在網絡上鬨得沸沸揚揚，他自然也有所耳聞。
國內的那些原材料，他還可以私底下牽線搭橋，但涉及到國外供應商，他也沒有什麼辦法。
“這些材料，確實是繞不開的坎。”沈院士歎了口氣，目光重新落回65n光刻機上，語氣帶著幾分悵然。
“可這台設備畢竟是國內目前最先進製程設備之一，拆解過程中要是出了差錯，想要再找到替代設備，難如登天。”
王世傑看出沈院士的擔憂，輕聲安慰道：“沈院士放心，拆解前我們會完整記錄設備結構，每一個零部件的安裝位置、接線方式都會存檔。光刻機，有成熟的流程，不會出紕漏。”
他頓了頓，補充道：“拆解過程還會全程錄像，同步上傳到行星二號超算備份。哪怕某個部件出現損壞，也能根據掃描數據逆向複刻，不會影響後續複原光刻機。”
沈院士仍有顧慮：“逆向複刻談何容易？像光學鏡頭、伺服電機這些核心部件，國內廠商的工藝還達不到原機水準，一旦損壞，恐怕還是要依賴進口。你們複刻過250納米光刻機，應該更明白其中的難度！”
在他看來，以龍國目前的工業體係，很難複刻高端光刻機的核心部件。
王世傑卻是語氣堅定，“隻有摸清每個部件的設計原理，才能推動國內供應商突破技術壁壘。
我們去年拆解的250納米光刻機，已經完全吃透內部構造。按照計劃，我們用國產部件複刻的250納米光刻機，再有兩個月就可以下線了。”
沈院士握著報告的手微微一鬆，眼中的擔憂被難以置信取代：“兩個月？用國產部件複刻250納米光刻機？”
他深耕半導體領域數十年，太清楚高端設備國產化的難度。
250納米光刻機雖非頂尖製程，但核心部件如精密導軌、伺服電機、光學鏡頭，長期依賴國外進口，國內廠商連逆向測繪都困難，更彆提複刻組裝。
去年王世傑通過他聯係了很多廠商，當時他還以為雙方應該是共同研究光刻機的某一種結構。
現在看來，當時就是複刻250納米光刻機的某一種核心部件。
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