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第253章 拜訪傅老師(中)(2 / 2)

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他上前一步,無視了傅教授那“生人勿近”的氣場,目光落在那台龐大的機器上,眼神裡充滿了好奇和讚歎,開口問出的第一句話,就讓傅國生教授愣住了:

“傅教授,您這是在調試……euv光源的收集鏡嗎?聽說多層膜鏡麵的熱變形和汙染控製是業界難題,您用的這是……主動冷卻加上原位清潔的方案?”

林飛的聲音不高,語氣平和,但每一個專業名詞都像小錘子一樣,精準地敲在了傅國生的專業領域核心點上!

euv光源!收集鏡!多層膜!熱變形!汙染控製!主動冷卻!原位清潔!

這幾個詞從一個穿著休閒裝、看起來像個時尚博主或者年輕總裁的“外人”嘴裡蹦出來,效果堪比在菜市場聽到有人用流利的拉丁文討論量子力學!

傅國生教授那原本寫滿“不耐煩”和“送客”的臉,瞬間僵住了。

他推了推滑到鼻梁中間的眼鏡,鏡片後那雙銳利的眼睛第一次真正聚焦在林飛臉上,充滿了難以置信的驚愕。

這小子……怎麼會知道這些?

euv?這可不是什麼大眾科普知識!

還有收集鏡的熱變形和汙染……這更是行業內頂尖團隊才會頭疼到掉頭發的核心難題!

他怎麼會……?

愣了好幾秒,傅教授才從喉嚨裡擠出一句,帶著濃濃的懷疑和試探:“你……你怎麼知道euv?還知道收集鏡?你看過相關論文?”

他的潛台詞是:你小子是不是提前做了功課,背了幾個名詞來我這裝大尾巴狼?

林飛笑了笑,那笑容輕鬆自然,完全沒有被質疑的窘迫。

他不僅沒回避,反而順著傅教授的話,往更深處走了一步。

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和iec的技術報告也略有涉獵。不過紙上談兵終覺淺,我更好奇傅教授您這邊的實踐方案。”

“比如,您這套主動冷卻係統,是針對鏡麵基底的熱膨脹係數做的梯度材料設計嗎?”

“還有原位清潔,是用低能離子束還是脈衝激光?對膜層的損傷閾值怎麼控製?”

好家夥!這一連串問題,不僅接住了傅教授的試探,還反手拋出了更具體、更硬核的技術細節!

梯度材料設計?低能離子束?脈衝激光?損傷閾值?

這已經不是背名詞了,這簡直像是在參加一場頂尖的光學工程研討會!

傅國生教授的眼睛瞬間瞪大了一圈!臉上的懷疑被巨大的驚訝取代!

這年輕人……不簡單!絕對不簡單!

能問出這些問題,說明他對euv光刻的技術難點和可能的解決方案有相當深入的思考!

這絕不是臨時抱佛腳能裝出來的!

傅教授心裡那點“資本家不懂技術”的偏見,開始動搖了。

他收起了一絲輕視,語氣雖然還帶著點學術大佬的倨傲,但已經不再是純粹的拒人千裡之外了。

“哼,梯度材料成本太高,工藝也複雜。我們用的是多層複合結構,結合微流道主動液冷,成本可控,散熱效率也夠用。原位清潔嘛……”

他頓了頓,似乎有點得意於自己的獨創,“我們沒用離子束也沒用激光,那玩意兒太嬌貴,容易傷鏡子。我們搞了一套低壓等離子體輔助的熱解吸裝置,效果不錯,就是參數調起來麻煩點。”

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