帶著感光芯片回到平江後，康馳又重新投入到了繁忙的工作中，同時出於優先級考慮，相機的事情也隻能往後排。/br時間一天天過去，距離何永說的一個月改良期限也越來越近了。/br終於，在11月13號的這天，何永的電話打過來了。/br“設備已經改造完畢，正在做實驗前的最後檢查工作，預計15號就可以開始進行測試了。”/br“嗯，我明天過來，這段時間辛苦你們了。”/br兩人隨後簡單地聊了幾句便結束了通話。/br隨後康馳重新梳理了大唐重工的研發工作，確定在沒有他的情況下，項目也能正常推進，然後便開始動身前往常春。/br兩天後，常春光所的潔淨實驗室內，DPP-EUV光源項目組的研究人員，都已經全副武裝地堅守在各自的崗位上，進行著測試前最後的一遍檢查工作。/br康馳此時也站在控製室，隔著玻璃看著裡麵那台體積和普通臥室差不多大的光源設備，內心同樣充滿期待。/br隻要把光源搞定了，那他光刻機的研製進度，最少能暴漲三分之一。/br加上平江已經組裝完畢的鏡片製造設備，以及正在攻關的工件台。/brEUV光刻機三大件合體調試時間，已經是指日可待了。/br何永對設備的主要參數，以及實驗條件進行最終核對後，走到了康馳的身邊，儘量壓沉音量道：“各項參數都已經核查無誤，可以開始了。”/br“那就開始吧。”/br“嗯！”/br這次的實驗主要分兩個階段進行，/br第一階段隻對設備進行通電，然後噴錫氣，測試磁場是否能夠和預想中的那樣，把錫氣給一絲不落地吸到廢料收集器中。/br隨著何永開始實驗命令下發後，實驗室內外的工作人員立即開始行動了起來。/br設備通電，磁場加壓……/br隨著屏幕上的數據瘋狂跳躍，數字最後定格在了三千高斯。/br這個磁場強度，和可控核聚變幾十萬高斯的磁場強度顯然沒得比，但兩者的體積和目的不同，其實沒啥可比性，/br對於EUV光源來說，隻能要約束住等離子體和錫液碎屑就行了，再高的強度也隻是浪費電而已。/br“第一次噴射準備，噴射！”/br隨著工作人員按下按鈕……似乎啥也沒發生。/br嗯，這不是火箭發射，人根本就不可能通過肉眼，看到錫氣的噴射……/br在用激光擊打錫液的LPP方案中，為了產生穩定而高功率的光源，需要每秒發射5萬次的激光，並且次次命中錫液。/br而在DPP方案中，則是通過正負極的通電‘點火’頻率來實現，技術難度簡單很多，同時因為光電開關的頻率提升難度小，功率的提升空間就非常大了。/br真正的限製，是錫氣的噴射頻率。/br受限於物理結構，目前能做到噴射頻率隻有每秒2萬次。/br既然不能提高噴射頻率，康馳就直接大力出奇跡，提高每次的噴射量，每噴一次就電它個五次甚至十次，最大程度地把錫轉換成等離子體。/br反正有磁場約束，不怕氣體、碎屑和等離子體在電擊中亂飛。/br即便如此，每秒2萬次的頻率也很誇張了。/br隻能通過高速攝像機和各種分析儀器，回放實驗數據，才可能觀測到實驗的結果。/br過了十分鐘，測試的分析結果就出來了。/br“未發現錫元素外泄，全部錫氣在0.8秒後冷凝成液態，順利進入廢料收集器！”/br聽到分析員語氣激動地念出結果，所有人的臉上都露出了喜悅的神色。/br這說明支撐這套設計方案中，最重要的磁場設計是可行的！/br所有人都已經能感受到，那勝利曙光照射在臉上的那絲暖意了！/br何永深吸了口氣，壓抑住內心的激動，沉聲道：“繼續下一個環節，10秒連續噴射。”/br然後，/br10秒，30秒，1分鐘，10分鐘，30分鐘！/br測試的強度的不斷提升，但都無一例外，全部順利完成！/br何永終於抑製不住臉上的喜悅，神色激動地對康馳彙報道：“康博士……第一階段實驗全部順利通過！”/br康馳點了點頭：“那就直接開始第二階段吧。”/br“好的！”/br雖然經過了一上午的實驗，大家都有點饑腸轆轆了，但在這個節骨點，卻沒有任何人會有吃個飯再回來繼續測試的想法。/br所有人都憋著氣，期待著這台凝聚了他們無數日夜的心血，在另一條更具潛力的技術路線上‘點光’成功！/br“第一次電離準備，開始！”/br話音剛落，從光線收集器傳來的數據，就傳輸到了大屏幕上。/br極紫外光參數從0W，直接跳到了500W！/br雖然這道500W的極紫外光，持續的時間僅僅隻有0.00002秒，但所有人都知道，他們的一隻手已經摸到了成功的大門了！/br“500W，我們成功了！”/br所有人都再也抑製不住內心的激動，站起來對著康馳鼓掌慶祝了。/br康馳的臉上，也不禁浮現出了一絲笑容：“是的，我們成功了。”/br不過，這是階段性的驗證，隻能代表這條技術線路是真實可行的。/br接下來，他們還要像第一階段的實驗一樣，不斷提高實驗強度，確定它是否已經可以穩定運行，直接進入商用階段。/br十分鐘後，具體的分析數據也出來了，在剛剛電離錫金屬的時候，磁場依然完成了它的使命。/br它像一個無形的牢籠，牢牢地約束住了整個發光區域，沒有讓任何物質觸碰到不該觸碰的設備。/br接著康馳直接讓何永上強度，從10秒到1分鐘，第三輪直接就是30分鐘！/br連續半個小時的穩定光源！/br到了這一步，基本已經可以證明，這台DPP-EUV光源，已經具備商用價值了！/br當今天最後一項測試結束後，整個實驗室頓時就沸騰了。/br“成功了，真的成功了！”/br“我們有500W的EUV光源了！”/br“我的天，康博士的一次改良，竟然直接從80W乾到了500W！”/br掌聲和歡呼聲在控製室內反複回蕩，/br大家隔著厚厚的防護服互相擁抱，激動的淚水灑在了透明的防護麵具上，更加增添了實驗室的歡樂氛圍。/br看到眼前的這一幕，何永的身體也不禁有些顫抖。/br這樣的場景，他做夢都不知道做了多少次。/br直到今天，終於夢想成真了。/br隻可惜，這成功並不是他給大家帶來的……/br何永表情有些複雜地，轉頭看向身邊這個年輕人。/br這年齡的人，在他們研究所，估計隻有在助手中才能找到吧？/br“恭喜你，你贏了。”/br“謝謝。”/br康馳當然也能感受到，何永在激動之餘的那抹失落，於是出言安慰道：“如果不是有伱們之前打下的堅實基礎，並且能這麼快完成設備改良，這一天肯定也不會這麼快到來。”/br“其實我也不想成為最後摘桃子的，那多惹人厭啊……隻要你們能按照之前的約定，以成本價給我供貨，然後分我30%技術專利的利潤，其它的看著辦就行了。”/br何永搖了搖頭：“你放心，我會如實填寫實驗報告，這麼大的功勞就算扣在我頭上，我也頂不起，能分點苦勞也夠我入土前得意了。”/br呃……/br他這話雖然有點怪，但貌似也是這個理。/br功率突然從80W突破到了500W，成果實在太大了，/br哪怕何永隻能分一點功勞，也比他之前幾瓦、幾十瓦地慢慢突破牛逼多了。/br(本章完)/br（www.101novel.com）