幾家的管式爐,最高溫度隻能達到900到1000度……1100度?
還有氮化硼塗層……那是說塗就塗的麼?
問題是,聽台上那貨的語氣,好像應該是隨手可得的,要提出來沒有……也太卡顏麵啦。
年長者為了麵子不吱聲,提問的年輕人同樣為了麵子不吱聲,坐那默默的吞苦水……
同時在心裡呐喊:英雄,饒命呀~
空氣短暫的安靜後,一位工研院的年輕研究員率先醒過神,高舉起右臂。
待曲卓抬手示意後,起身:“省內g線光刻膠依賴進口。我們試著在實驗室自行合成時,光敏劑和樹脂總不兼容。請問,有解決辦法嗎?”
“鄰醌二疊氮百分之八上下與酚醛樹脂1比9混合,平衡光敏性和膜厚穩定性。使用乙二醇單甲醚醋酸酯或甲基異丁基酮做主溶劑,控製膠液粘度在50到80厘泊,目標支持分辨率1.5微米。我等你出成果。”
曲卓話音落下時,已經有人翻開麵前的筆記本開始記錄了……
翻開筆記本,甭管有用沒有都要做記錄……這是事先有要求的。
但某人節奏太快,以至於大家給忘了。
這會兒想起來記,是真的需要記……
“講。”曲卓示意舉手的……瞅著還算年輕,但應該是已婚的女人。
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“我的問題是,1微米工藝的vsi做鋁布線,高溫狀態鋁、矽互互相擴散,導致pn結漏電,實驗室層麵有沒有……比較簡單的方法可以阻擋?”
“蒸鍍五十納米的鈦層,600度形成高阻c49相,800度轉化為低阻c54相形成tisi?阻擋層,可以阻止鋁擴散。布線改用含百分之一矽的鋁合金,電阻率能降到每厘米2.83.0微歐。
如果你努力一些,攻破電子束蒸發和快速熱退火,可以做到2.5微歐。不過,彆想著申請專利。因為,我已經注冊過了。”
“……”
好多人在下意識吞口水。還有人想問:“英雄,你是不是太高看我們啦?”
依舊是那句話:決不能墜了自家的麵子……硬憋!,sio?介質層漏電,刷新周期不足1.5毫秒,該怎樣優化介質層?”
“用等離子體增強化學氣相沉積做sio?,呃……你們可以用低壓化學氣相沉積或熱氧化工藝,厚度十二納米,擊穿場強能提到每厘米一千萬伏特,刷新周期應該能夠延長到2毫秒……回頭我送你們一套pecvd。”
這話一出口,台下不少人險些熱淚盈眶。
不是……或者說不止是因為能白得一套必然先進到根本沒有商業化生產的實驗室設備。
更想高聲呐喊:“英雄,你終於意識到了麼?在你認知裡就擺在手邊的東西,我們這裡根本就沒有條件呀!”
與其他人不同,後排坐著的施敏在亢奮。
他為什麼過得那麼憋屈,還悶不吭聲的留在貝爾實驗室。
一方麵是圖貝爾的“牌子”,說出去有麵子,能襯托他的檔次,代表他的實力。
一方麵是圖實驗室內先進的儀器和設備。
搞半導體器件,離不開硬件支持。他早就有心回彎省了,但彎省幾個實驗室的條件,根本就不足以支撐他的研究。
現在,就是此刻,他通過剛才台上“準老板”言語間透露出的信息,已經非常篤定了,答應的最頂尖的實驗室,一定是最頂尖的。
大概率比貝爾實驗室的條件要強的多。
實在太令人期待了……
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