授權進入一樓後,一個超高潔淨度的現代化芯片製造車間赫然呈現。
芯片製造車間包括光刻區、蝕刻區、薄膜沉積區、摻雜區、清洗區和檢測區等。
光刻工序堪稱整個製程的靈魂,對環境的穩定性和避震要求極其苛刻。
為確保最佳性能,光刻機被安置在一樓。
這棟樓的二樓也是芯片生產車間,一樓與二樓的生產線用傳送帶連接。
三樓是庫房,四樓則是辦公區域和實驗區域。
一層樓建造麵積高達2萬平方米,算上二樓,可以布置4條芯片生產線,每條生產線包括5台ebl光刻機。
一台ebl光刻機占地麵積隻有10平方米而已,但配套設備和自動化生產線就占空間,還要考慮設備間隔、潔淨室麵積、工藝流程布局、通道、安全區域等,構成了一個龐大而精密的製造生態係統。
這套布局與苔積電等世界頂級半導體製造商的廠區設計有些類似,每條生產線的平均占地麵積也相差不大。
按照公司一期月產10萬片晶圓,還需要一棟這樣的大樓才能滿足10條生產線布局。
當然,如果還要擴產,公司還有許多閒置的大樓足夠布局。
未來科技集團不缺錢,更不缺地,空間設計得寬闊一點也好。
“郝先生,請問一下,這是什麼設備?”韋宏好奇地指著眼前的高大設備問道,聲音中帶著一絲不確定。
上麵有未來科技集團的lo,設備型號“ebl001”。
眾人是真看不懂這是什麼設備,的確沒有見過,但從外觀看來,是一台高精密高端設備。
郝強嘴角微揚,目光平靜地掃過在場所有人的表情,然後不疾不徐地回答:“這就是光刻機。”
此話一出,仿佛在平靜的湖麵投下了一顆重磅炸彈。
韋宏瞪大了眼睛,瞳孔中閃爍著難以置信的光芒,聲音因激動而略微顫抖:“這是光刻機?
你們真的擁有光刻機!?”
他環顧四周,呼吸急促,“我數了數,算上這台,現場相同的設備,我看了下,都有3台了吧?”
車間實在太大,他也看不清楚,實際共有5台樣機。
其他領導的反應也不遑多讓。
他們的表情從震驚到困惑,再到欣喜,情緒的變化如同五彩繽紛的煙花在臉上綻放。
郝強看著眾人的反應,嘴角的笑意更深了。
他不緊不慢地補充道:“準確地說,這是ebl光刻機,與euv光刻機和duv光刻機不同,它更加高端,工藝製程可以達到幾納米級彆。”
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