地下室裡的激情與決心並未隨著時間流逝而冷卻,反而如同被投入爐火的乾柴,在短暫的沉寂後,燃燒得愈發熾烈,散發出一種近乎偏執的光熱。
明朗勾勒出的那幅簡化版工藝藍圖,雖然清晰誘人,像一盞指路的明燈,但燈光之外的黑暗區域,卻讓在場的每一位都清晰地意識到,從紙麵方案到現實產品之間,橫亙著一條名為“設備與量產”的、深不見底的巨大鴻溝。
這鴻溝需要真金白銀、需要稀缺資源、需要近乎瘋狂的執行力才能填平。
工藝路線一旦確定,所有抽象的技術難題瞬間具象化,焦點變得無比清晰且令人窒息:設備,設備,還是設備!
尤其是陣列工藝中最為核心、技術壁壘最高的——那五次光刻所必需的光刻機stepperscanner)。
它就像一位傲慢的君王,主宰著整個製造流程的生死。
空氣中彌漫著泡麵與鬆香混合的味道,但更濃的是凝重的思考氣息。
明朗、歐陽謙、歐陽旭三人擠在那台嗡嗡作響的老舊電腦前,屏幕熒光映照著他們嚴肅的臉龐,開始一項項羅列那足以讓任何初創團隊頭皮發麻的“死亡清單”。
“光刻機是心臟,也是最難啃的骨頭,沒有之一。”
歐陽謙推了推鼻梁上滑落的眼鏡,麵色凝重得仿佛能滴出水來:“全新的?那是天方夜譚。目前主流用於麵板製造的arf氬氟)準分子激光光刻機,一台就要價數千萬美元,而且是對我們禁運的戰略物資。我們唯一的選擇,隻能是去全球的二手設備市場‘淘金’。”
他頓了頓,努力讓語氣保持冷靜:“目標是那些被日韓或中國台灣一代、二代麵板廠淘汰下來的、適用於較小尺寸和更寬鬆製程的接觸式光刻機ntactaigner)或者接近式光刻機proxiityaigner)。我們對分辨率要求可以放低,能穩定搞定35微米μ)的線寬,就足夠滿足我們qvga分辨率的需求了。但是……”
他加重了語氣,每一個字都像錘子敲在心上:“這種老機器就像年邁的賽馬,狀態極不穩定,故障率高,維護保養是個無底洞。而且,與之配套的鉻版掩膜ask)製作成本高昂、周期長,每一次損耗都肉疼,套刻精度overayauracy)的控製更是噩夢級的挑戰。”
“何止是光刻機!”歐陽旭接過話頭,他的急躁此刻化作了語速極快的憂慮,手指在屏幕上那份不斷變長的清單上快速點著,仿佛要點燃那些冰冷的設備名稱:“薄膜沉積設備是另一座大山!陣列工藝需要:磁控濺射台sputter)——至少需要兩台,一台用於鍍鉬鋁鉬oao)柵極和源漏金屬層,另一台專用於鍍氧化銦錫ito)透明電極。還有pecvd等離子體增強化學氣相沉積)設備——用於沉積關鍵的氮化矽sinx)柵極絕緣層和非晶矽asi)有源層。這些設備也必須找二手貨,而且為了提升效率和減少汙染,最好能找到多腔體的集群設備custertoo),但這又意味著價格的指數級上升!”
他幾乎喘不過氣,繼續道:“刻蝕設備etcher)!濕法刻蝕槽etetchbath)相對簡單,用於圖形化金屬層,但乾法刻蝕機dryetcher),我們至少需要一台反應離子刻蝕rie),用於精確刻蝕asi島和氮化矽層,這玩意兒的工藝氣體cf4,o2,sf6等)配比、射頻功率、真空度控製,每一個參數都能讓我們掉光頭發!這還不是最頭疼的,清洗設備ceaner)!”egasonicceaner),每一步光刻前後、每一次沉積之前,都需要近乎變態的徹底清洗,否則一顆零點幾微米的灰塵落在基板上,未來就是一個致命的亮點或暗點brig),直接宣告屏幕報廢!”
歐陽謙深吸一口氣,努力將話題拉回係統性的敘述:“還有塗膠顯影設備aterdeveoper):旋轉塗膠機spinater)用來均勻塗布光刻膠,其轉速和加速度控製直接影響膠厚均勻性;顯影機要保證顯影液濃度、溫度和噴灑的均勻性,精度要求極高。最後,沒有眼睛的製造就是盲人摸象,檢測設備etroogy)絕不能省:高倍率光學顯微鏡、哪怕一台老舊的掃描電子顯微鏡se)也是必須的,用來檢查線寬cd)、套刻精度、剖麵形貌和缺陷。還得有台階儀或橢偏儀測膜厚,有探針台probestation)配合參數分析儀測試tft的電學特性開關比、遷移率、閾值電壓)……否則我們根本就是在閉著眼瞎搞,連失敗的原因都找不到!”
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“我的天爺啊!這還僅僅是他媽的陣列array)部分!”歐陽旭猛地向後一靠,用力撓著自己的頭發,仿佛想把這一切煩惱都揪出去:“後麵還有呢!成盒ce)工藝需要的uv固化機用於固化封框膠、精度要求極高的真空對位貼合機vacuuaignent&ainatingace)工藝需要的acf綁定機acfachine)用來把驅動ic芯片以微米級精度壓接到玻璃基板的引腳上、熱壓機hotpress)使導電粒子破裂形成連接、精雕機dicer)或激光切割機把大張玻璃切割成小片、研磨倒角機grinderbeveer)處理切割後鋒利的玻璃邊緣……這簡直他媽的不是創業,是要在2005年的中國,憑空重建一個微電子工業的雛形!一個簡化版的‘麵板富士康’!”
清單越列越長,密密麻麻的文字和數字像一座座無形的大山,壓得三人幾乎喘不過氣。
實驗室裡原本燃燒的激情,仿佛被這冰冷的現實清單澆上了一盆冰水,隻剩下滋滋作響的絕望白汽。
這其中的每一台設備,都不僅僅意味著一個名稱,其背後是巨量的資金投入、複雜曲折的全球尋源和采購過程、令人頭疼的海關通關、以及更令人望而生畏的安裝、調試、工藝驗證和無休止的維護。
每一關都足以讓缺乏資源和經驗的團隊折戟沉沙。
然而,在整個過程中,明朗的眼神卻始終如磐石般堅定。
他靜靜地聽著,大腦飛速運轉,將兄弟二人的憂慮與自己所知的未來信息相互印證、整合。
他早已料到了這份艱難,並且,在他穿越者的視野裡,已經勾勒出了一個絕佳的、跳出常規思維的解決方案。
“設備的問題,一件一件解決。清單列出來,就好辦了一半。我們可以分優先級,最先保障核心的光刻、沉積、刻蝕設備。錢,我來想辦法。”明朗的聲音沉穩有力,像定海神針般瞬間打破了地下室裡略顯壓抑和絕望的氣氛:“至於場地……這個最大的難題,我已經想好了。”
他站起身,走到那扇唯一的、布滿灰塵的小窗前,目光仿佛穿透了校園厚重的圍牆和喧囂的城市,投向了記憶中的遠方——江州國際聯合化工廠那片熟悉的廣袤廠區。
“江州國際聯合化工,”他轉過身,語氣帶著一種不容置疑的確定性:“三號倉庫區,那邊有現成的、至少兩千平米挑高超過八米的大型空置倉庫。地麵是加固的混凝土,承重完全沒有問題。麵積對於我們這條試驗兼中小尺寸量產線,綽綽有餘。”
他頓了頓,拋出了最關鍵的優勢:“最重要的是,化工廠本身就有極其穩定的雙回路工業供電係統,足以應對精密設備對電壓波動的苛刻要求;它自身還擁有成熟的工業級超純水up)製備係統,水質遠超我們電子級清洗的要求,隻需要進行末端再精處理即可!這對於我們來說,簡直是得天獨厚、省下天文數字基礎投資的寶藏!我們隻需要進行內部隔斷和高級彆的裝修,搭建起cass萬級)甚至關鍵區域達到cass1000千級)的無塵車間ceanroo),配套ffu風機過濾單元)和溫濕度控製係統,就能滿足要求。而且,就在化工廠區內,氮氣、氧氣、氬氣等大宗氣體以及特種化學品的采購、儲存、安全管理和廢液處理,都可以依托化工廠現成的體係和資質,比我們單獨去申請要方便、快速、安全得多!”
歐陽兄弟張大了嘴巴,再次被明朗這天馬行空卻又無比精準、切中要害的想法震驚得說不出話來。
利用大型化工廠的倉庫和現成基礎設施?
這簡直是神來之筆!
堪稱絕妙的戰略迂回!
這不僅瞬間解決了令人絕望的場地和基礎配套問題,更是在資源利用上做到了極致,將他們的創業成本壓縮到了一個難以置信的程度。
希望的火焰,再次在他們眼中猛烈地燃燒起來,而且比之前更加熾熱、更加堅定。
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